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| 과목명 | 학위과정 | 범위 |
| 나노박막성장기술및소자응용 | 석박사 | Si 의 원자구조 및 원자면 |
| 나노전자소자1 | 석박사 | Carrier mobility 물리적 이해와 C-MOS FET의 carrier mobility 향상 |
| 나노전자소자2 | 석박사 | -
MOSFET - CMOS Scaling : 문제점 및 개선방법 - DRAM - Flash Memory |
| 반도체공정 | 석박사 | -
Thin film 공정 - Lithography 공정 - Etching/Cleaning 공정 - CMP 공정 |
| 기체방전공학 | 석박사 | Principles of Plasma discharges and material processing |
| 나노반도체세미나2 | 석박사 | Lithography, diffusion, etch, C&C process |
| 집적반도체소자제조기술 | 석박사 | 1.
Thin film fabrication 2. Lithography 3. Cleaning 4. Etching 5. Interconnection 6. 열처리 7. 도핑 |
| 플라즈마공정 | 석박사 | Principles of Plasma discharges and material processing |
| 플라즈마공정특론 | 석박사 | Principles of Plasma discharges and material processing |